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真空泵的用途及适用的工艺类型
真空泵的用途
根据真空泵的性能,在各种应用的真空系统中它可承担如下一些工作。
(1)主泵。在真空系统中,用来获得所要求的真空度的真空泵。
(2)粗抽泵。从大气压开始,降低系统的压力达到另一抽气系统开始工作的真空泵。
(3)前级泵。用以使另一个泵的前级压力维持在其最高许可的前级压力以下的真空泵。
前级泵也可以做粗抽泵使用。
(4)维持泵。在真空系统中,当抽气量很小时,不能有效的利用主要前级泵,为此,在
真空系统中配置一种容量较小的辅助前级泵,维持主泵正常工作或维持已抽空的容器所需之
低压的真空泵。
(5)粗(低)真空泵。从大气压开始,降低容器压力且工作在低真空范围的真空泵。
(6)高真空泵。在高真空范围内工作的真空泵。
(7)超高真空泵。在超高真空范围内工作的真空泵。
(8)增压泵。装于高真空泵和低真空泵之间,用来提高抽气系统在中间压力范围内的抽
气量或降低前级泵容量要求的真空泵(如机械增压泵和油增压泵等)。
2 各类真空泵适用的工艺类型
(1)水环真空泵。适用于真空浓缩、真空脱水、真空脱色、真空干燥、真空保鲜、真空
储藏、真空输送、真空成型等工艺。
(2)往复真空泵。适用于真空蒸馏、真空浓缩、真空浸渍、真空过滤、真空造型、真空
干燥、钢液真空处理等工艺。往复真空泵与水环真空泵使用的工艺基本相同。但是,往复真
空泵不能直接抽水蒸气,需要抽水蒸气时一定要配备冷阱,采用制冷压缩机系统冷却。
(3)油封机械真空泵(包括滑阀泵、旋片泵、定片泵)。适用于真空蒸馏、真空干燥、
真空浸渍、真空烧结、真空绝热、真空钎焊、真空镀膜、真空热处理等工艺中使用。当前,
旋片式油封机械真空泵,做为直排大气的前级泵,使用的量大面广。
(4)罗茨真空泵(机械增压泵)。适用于真空烧结、真空钎焊、真空浸渍、真空干燥、
真空镀膜、真空输送、真空冶炼等工艺中使用。绝大多数罗茨泵都不能用于直排大气,需要
配备旋片泵或滑阀泵作为前级泵使用。湿式罗茨泵可以直排大气,主要用于造纸工业中。
(5)油增压泵。适用于真空冶炼、真空烧结、真空钎焊、真空热处理等工艺中使用。它
与机械增压泵相类似,不能直排大气,必须用旋片泵或滑阀泵等作为前级泵。
(6)油扩散泵。适用于真空镀膜、真空热处理、真空冶炼、真空提纯、电子真空器件、
真空分析仪器、真空检漏仪、宇宙空间真空模拟装置、加速器真空系统等工艺中使用。它适
合于抽取高真空使用,本身不能直排大气,必须配备前级真空泵。
(7)干泵(包括螺杆泵、涡旋泵和爪形泵)。适用于无油清洁的真空工艺过程,例如半
导体行业、电子行业、化工行业等各种工艺使用,这几种泵都能直排大气。
(8)吸附泵。适合于各种真空电子器件、集成电路、分析仪器、表面仪器以及各种要求
清洁无油的真空系统中使用。
(9)钛泵(包括溅射离子泵、升华泵)。适用于真空镀膜、大规模集成电路、表面物理
和表面化学、热核物理、等离子体物理和超导技术等工作中使用。
(10)分子泵。适用于真空镀膜、集成电路、表面物理、表面化学、等离子体物理、光
学仪器、热核反应和宇航技术工作中使用。
(11)水喷射泵。适合于真空导料、真空输送、轻工、化工、化纤、制药、涂料、油脂、
造纸、烧碱、制糖、食品、制砖和真空除氧等工业领域中使用。
(12)水蒸气喷射泵。适合于真空冶烧、真空脱气、真空蒸发、真空干燥和真空回潮等
工艺中使用。
(13)低温泵。适合于真空镀膜、表面物理、超导技术和宇航技术等工作中使用。
